SM-FR-UHP

Ограничитель расхода для высокочистого газа

Исполнение 316L для контролируемой подачи высокочистого или специального газа с малым мертвым объемом и без выделения частиц.

Запросить комплектующее

Технические параметры

Материал
Нержавеющая сталь 316L
Диапазон расхода
0,1 sccm-40 slpm по исполнению
Соединение
1/4 дюйма VCR
Чистота
Мертвый объем и фильтрация до 0,003 мкм по задаче

Данные для запроса

  • 01Чистота газа
  • 02Герметичность
  • 03Диапазон расхода и перепад давления

Типовые применения

  • 01Высокочистые газы
  • 02Полупроводниковые линии
  • 03Распределительные коллекторы

Изготовление под задачу

Подтверждаются обработка поверхности, соединение, требуемая утечка и внутренняя чистота.

Подбор и послепродажная поддержка

SenseMeter помогает проверить совместимость, согласовать исполнение и решить вопросы по установке или замене после поставки.

Chat with us
SM-FR-UHP - Ограничитель расхода для высокочистого газа | SenseMeter